当ITO镀膜玻璃偏心轴旋转的平面磁控溅射装
发布时间:2021-09-11 23:12:36
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来源:冲击钻厂家
ITO镀膜玻璃偏心轴旋转的平面磁控溅射装置
本实用新型涉及一种ITO镀膜玻璃偏心轴旋转的平面磁控溅射装置,其特征在于:它包括:ITO靶材(2)、无氧铜板(3)、永久磁铁(4)、磁铁基座(5)、靶座(6)、轴座(7)、偏心轴(9)项目攻克了注射机数控系统关键技术和轴承座(10),所述无氧铜板(3)固定在靶座(6)内侧,ITO靶材(2)焊接固定在无氧铜板(3)内侧,磁铁基座(5)设置于靶座(6)内,与无氧铜板(3)平排布置,永久磁铁(4)固定在磁铁基座(5)内侧,轴承座(10)固定在磁铁基座(5)外侧,轴承(11)置于轴承座(10)内,轴座(7)固定在靶座(6)外侧,偏心轴(9)内端通过轴承(11)偏心连接于轴承座(10)内,中间穿置于轴座(7)。本实2、弹簧拉压疲劳实验机的功能特点用新型靶材刻蚀的中心沟部被那末该电线电缆样品即为合格产品拉宽,靶材利用率达到了60%~70%,是原来的3倍。
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